(資料圖)
格隆匯5月30日丨有投資者在投資者互動平臺向南大光電(300346)(300346.SZ)提問，“能不能講述一下光刻膠驗證的四個階段，目前28nm光刻膠進入哪個階段了？”
公司回復稱，通常，光刻膠驗證根據驗證階段分為PRS(光刻膠性能測試)、STR(小試)、MSTR(批量驗證)及Release(通過驗證)。公司開發了多款ArF光刻膠在下游客戶處驗證，各款產品的驗證進度不一。
關鍵詞：
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格隆匯5月30日丨有投資者在投資者互動平臺向南大光電(300346)(300346.SZ)提問，“能不能講述一下光刻膠驗證的四個階段，目前28nm光刻膠進入哪個階段了？”
公司回復稱，通常，光刻膠驗證根據驗證階段分為PRS(光刻膠性能測試)、STR(小試)、MSTR(批量驗證)及Release(通過驗證)。公司開發了多款ArF光刻膠在下游客戶處驗證，各款產品的驗證進度不一。
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